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Georgia工科大学が超音速ガス流を用いた高速ナノ3Dプリント技術を開発

2019年7月29日

Georgia工科大学 2019年7月26日

Georgia工科大学の研究者グループは2019年7月26日、収束電子ビームを使用する、従来よりも高速なナノ3Dプリント技術を発表した。同グループが採用したFEBID(収束電子ビーム誘導積層)法は、高エネルギー電子ビームと熱的に励起された前駆ガスのジェットを基材上の同一箇所へ集中させる手法。この手法では、精度を制御しつつ複雑な3次元ナノ構造を構築することができる。同グループは、FEBID法の弱点である積層速度の遅さを改善するために、前駆分子励起用に直径が数マイクロメーカー程度の微細なインジェクターを開発した。このインジェクターは、積層真空チャンバー内で、超音速まで加速された微小なガス状分子を投入する。超音速で基材に吸収されて活性状態となることでビームによる化学結合の破壊が促進されるため、結果的に3Dプリントプロセスの速度を向上させることができるとしている。

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